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集束型纳米薄膜生长系统: CD-100
Cluster Deposition
中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 87-87
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 87-87

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集束型纳米薄膜生长系统: CD-100. 中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 87-87
Cluster Deposition. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 87-87
集束型纳米薄膜生长系统: CD-100
Cluster Deposition

主要技术与性能指标

● 旋转式高真空传输系统                     ● 实现高真空5×10−7 Torr的高真空环境

● 薄膜生长实现原子级别的精准控制    ● PVD/ALD工艺平台的集成

主要应用

全真空环境下器件制备

代表性应用成果