表(Table )
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系列氦质谱检漏仪: ZQJ-2300. 中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 8-8 
Helium Mass Spectrometer Leak Detector. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 8-8
系列氦质谱检漏仪: ZQJ-2300
Helium Mass Spectrometer Leak Detector
●最小可检漏率：< 2×10−11 Pa·m3/s ●反应时间：≤2 s
●启动时间：< 8 min ●漏率指示范围：1×10−11—1×10−5
●允许检漏口最高压力：1 000 Pa ●用户接口：RS232、外控IO
主要应用主要用于真空系统检漏，应用领域包括锂电池、真空制造、低温制冷、汽车制造、电子元件、高压电气、燃气管道、军工、航空航天、核工业、集成电路、新能源等
代表性应用成果真空系统检漏、锂电池产线检漏、半导体器件检漏
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