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高能脉冲磁控溅射镀膜机: HiPIMS-002. 中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 45-45 
High Power Impulse Magnetron Sputtering Coating Machine. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 45-45
高能脉冲磁控溅射镀膜机: HiPIMS-002
High Power Impulse Magnetron Sputtering Coating Machine
●等离子体离化率：Ti等离子体>80% ●离子能量控制：10—1 000 eV
●离子注入电压：40 kV（可定制） ●搭载等离子体诊断系统（OES）、离子能量监控系统
●朗缪尔探针：6个检测探针 ●极限真空：1×10−4 Pa
●真空室有效尺寸：ϕ1 000×1 000 mm（按需定制） ● HiPIMS磁控溅射电源及阴极：6部（柱靶或平面靶选配）
主要应用工模具高温涂层：汽车、航空航天、军事等先进制造行业应用；稀土铝耐蚀薄膜：NdFeB磁铁行业环保涂层应用；太阳能薄膜：光伏发电及新能源领域应用；生物工程薄膜：生物医用领域应用
代表性应用成果●与长春一汽开展合作，应用于长春一汽的压铸模具、热锻模具，可使其加工寿命提高3— 5倍以上，尤其是含钇高温涂层，在国内率先实现了800℃—1 200℃环境下热锻模具的薄膜工程应用。国内高端模具真空镀膜处理的需求市场份额在100亿—150亿元之间
●承担内蒙古自治区科技重大专项，研发获得超薄、致密、耐蚀Al2O3/Al复合层、AlMn纳米多层膜等多品种的新型镀层体系。在钕铁硼表面沉积新型镀层，致密度好、能保证尺度精度，同样耐腐蚀寿命下厚度为电镀层的1/5，在冷热交变环境下的防腐能力较强，耐盐雾能力达500—1 000 h，可满足海上风电、高铁列车、高速电机及手机等行业对磁材高耐腐蚀性要求。该技术为绿色环保的先进制造新技术，是磁铁行业表面处理最有生命力的新方法。在烧结NdFeB磁体高强耐腐蚀方面的应用前景广阔
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