有机、无机薄膜沉积设备
Organic and Inorganic Film Deposition Equipment
有机薄膜太阳能电池/OLED沉积设备
●极限压力:≤ 6×10−5 Pa ●样品尺寸:最大10 cm ●具有掩膜互换功能
主要应用●用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备
●可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研或小批量制备
代表性应用成果用于钙钛矿薄膜电池技术的研制和开发,也可用于有机发光技术OLED科学验证与开发
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