有机、无机薄膜沉积设备
Organic and Inorganic Film Deposition Equipment

主要技术与性能指标

有机薄膜太阳能电池/OLED沉积设备

●极限压力:≤ 6×10−5 Pa  ●样品尺寸:最大10 cm  ●具有掩膜互换功能

主要应用

●用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备

●可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研或小批量制备

代表性应用成果

用于钙钛矿薄膜电池技术的研制和开发,也可用于有机发光技术OLED科学验证与开发