http://dx.doi.org/10.16418/j.issn.1000-3045.2023Z104054
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高能衍射仪: RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer
中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 54-54
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 54-54

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高能衍射仪: RHEED-15、RHEED-25. 中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 54-54
Reflective High Energy Electron Diffractometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 54-54
高能衍射仪: RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer

主要技术与性能指标

●能量范围：15—35 keV  ●束斑直径：50—80 μm  ●工作气压范围：10−8—102 Pa

纹波系数：0.05%

主要应用

作为薄膜材料制备中原位实时测监手段用于高端科研仪器上，在MBE、PLD、ALD、MOCVD等设备上被广泛应用

代表性应用成果