主要技术与性能指标

●玻璃腔室：内径Ф 100 mm×高度130 mm  ●试样台尺寸：内径Ф 40 mm，可同时放6个Ф 13

●样品杯靶材尺寸：Ф 58 mm×（0.1—0.2）mm

主要应用

材料的微观表征、失效分析、半导体检测、生命科学研究等显微观测时导电膜制备，增加导电性，以及二次电子产额等；在电化学等方面，给予电极制备，材料亲水性处理等

代表性应用成果

材料微观表征研究、电极制备、试样亲水性处理、小样品表面涂膜、表面改性等