http://dx.doi.org/10.16418/j.issn.1000-3045.2023Z104065
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集束型纳米薄膜生长系统: CD-100
Cluster Deposition
中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 65-65
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 65-65

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集束型纳米薄膜生长系统: CD-100. 中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 65-65
Cluster Deposition. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 65-65
集束型纳米薄膜生长系统: CD-100
Cluster Deposition

主要技术与性能指标

●旋转式高真空传输系统  ●实现5×10−7 Torr的高真空环境

●薄膜生长实现原子级别的精准控制  ● PVD/ALD工艺平台的集成

主要应用

全真空环境下器件制备

代表性应用成果