表(Table )
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激光干涉仪: IFM600-WT(S). 中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 72-72 
Laser Interferometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 72-72
激光干涉仪: IFM600-WT(S)
Laser Interferometer
●测量口径：Φ600 mm（可定制到Φ800 mm） ●标准参考镜面形精度（PV）：优于0.1 λ
●重复性RMS：优于0.6 nm ●系统传递函数（ITF）：> 0.7@0.4 cycles/mm
●拼接测量口径：1 400 mm× 420 mm ●拼接测量精度（PV）：优于0.1λ
主要应用强激光装置、天文光学、空间光学等领域大口径光学元件检测
代表性应用成果●刘世杰, 周游, 白云波, 等. 大口径高平行度光学元件波前检测装置: 中国, ZL 201610024221.1. 2018-12-25.
●刘世杰, 周游, 白云波, 等. 双通道双波长干涉检测装置: 中国, ZL 201610551583.6. 2019-06-18.
●刘世杰, 白云波, 周游, 等. 平面光学元件绝对面形检测装置: 中国, ZL 201710380378.2. 2019- 05-17.
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