主要技术与性能指标

●测量口径：Ø 200—Ø 1 000mm  ●轮廓测量精度：100—200 nm（PVr）  ●测量光斑尺寸：≤ 10 μm

●非接触测头分辨率：10 nm（1 nm可选）  ●直线轴分辨率：≤ 1 nm

●适用轮廓类型：平面、球面、锥面、非球面等

主要应用

主要用于平面、球面、锥面、非球面等光学元件、机械零件的高精度非接触式轮廓测量。主要应用领域：先进光学制造、精密机械制造。主要应用行业：国防、天文观测、半导体、虚拟现实、精密仪器、安防预警等

代表性应用成果

非球面光学元件面形检测、衍射光学元件轮廓特征检测