主要技术与性能指标

●极限真空度：5× 10⁻⁵ Pa  ●钟罩腔体烘烤温度：400℃，均匀性要求：±2.5℃

● MCP组件顶升偏心精度：±1 mm且可提供项升力用于热铟封

●高温高真空环境下，实现玻壳旋转速度0—3 r/min范围内可调，达到控制精度0.02°以内

主要应用

主要用于20英寸微通道板型光电倍增管的国产化生产，是20英寸微通道板型光电倍增管研制和产业化的核心工艺装备。使用该设备所制备的光电倍增管，综合性能达到国际先进水平，其中量子效率等部分指标超过国际同行，一举打破20英寸光电倍增管研制技术被日本企业长期垄断、对国内完全技术封锁的局面

代表性应用成果

使用该系统生产的20英寸光电倍增管已安装在江门中微子实验室