http://dx.doi.org/10.16418/j.issn.1000-3045.2023Z104089
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系列真空泵
Roots Blower Vacuum Pumps
中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 89-89
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 89-89

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系列真空泵. 中国科学院院刊, 2023, 38(Z1): 89-89
Roots Blower Vacuum Pumps. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2023, 38(Z1): 89-89
系列真空泵
Roots Blower Vacuum Pumps

主要技术与性能指标

系列罗茨干式真空泵  ●抽速：600—4 200 m3/h  ●极限压力：0.2 Pa

系列涡旋干式真空泵  ●抽速：2—16 L/s  ●极限压力：< 1 Pa

主要应用

集成电路、大科学工程等领域

代表性应用成果

●系列罗茨干式真空泵：集成电路、太阳能电池、LED、生物医药、冶金等领域

●系列涡旋干式真空泵：大科学工程、生物制药、食品安全、手机屏贴合等领域