引用本文
系列化氦质谱检漏仪: ZQJ-2000/2300系列 ZQJ-3300/3700系列. 中国科学院院刊, 2024, 39(Z1): 18-18 
Helium Mass Spectrometer Leak Detector. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2024, 39(Z1): 18-18
系列化氦质谱检漏仪: ZQJ-2000/2300系列 ZQJ-3300/3700系列
Helium Mass Spectrometer Leak Detector
2000/2300系列
●最小可检漏率：< 2× 10−11 Pa · m3/s ●反应时间：≤ 2 s ●启动时间：< 8 min
●漏率指示范围：1× 10−11 —1× 10−5 ●允许检漏口最高压力：1 000 Pa ●用户接口：RS232、外控IO
3300/3700系列
●最小可检漏率：< 5× 10−13 Pa · m3/s ●反应时间：≤1 s ●启动时间：< 3 min
主要应用真空系统检漏，包括锂电池、真空制造、低温制冷、汽车制造、电子元件、高压电气、燃气管道、军工、航空航天、核工业、集成电路、新能源等
代表性应用成果真空系统检漏、锂电池产线检漏、半导体器件检漏
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