表1(Table 1)
●分辨率：优于0.9 nm@30 kV、优于3 nm@1 kV（SE）；优于2.5 nm@30 KV（BSE）
主要应用材料的微纳尺度表征、失效分析、半导体检测、生命科学研究、高分辨高精度表征等
代表性应用成果
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Field Emission Scanning Electron Microscope
SEM 4000Pro●电子枪类型：肖特基场发射电子枪 ●分辨率：1.0 nm@30 kV，SE；0.9 nm@30 kV，STEM ●放大倍率：1—1 000 000 ●加速电压：200 V—30 kV ●样品台：五轴全自动样品台
SEM 5000Pro●电子枪类型：肖特基场发射电子枪 ●放大倍率：1—2 500 000 ●加速电压：20 V—30 kV ●分辨率：0.8 nm@15 kV，SE；1.0 nm@1 kV，SE；0.8 nm@30 kV，STEM ●样品台：五轴全自动样品台
SEM 5000X ●电子枪类型：肖特基场发射电子枪 ●放大倍率：1 — 2 500 000 ●加速电压：20 V—30 kV ●分辨率：0.6 nm@15 kV，SE；1.0 nm@1 kV，SE；0.8 nm@30 kV，STEM ●样品台：五轴全自动样品台
主要应用锂电材料、纤维材料、电子元器件、建筑材料、环保材料、生物医疗、金属和冶金等领域
代表性应用成果纳米材料观察、材料断口分析、金属材料失效分析、考古学和刑事侦查、生物研究应用、微电子工业质量监控、地矿学研究
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Field Emission Scanning Electron Microscope
●分辨率：1.0 nm @ 15 kV，1.5 nm @ 1 kV（YF-1801）；0.8 nm @ 15 kV，1.2 nm @ 1 kV（YF-1802）
●束流范围：1 pA—20 nA ●放大倍率：1—2 000 000 ●加速电压范围：20 V—30 kV
●样品台为5轴全自动样品台，移动范围：X和Y轴125 mm，Z轴50 mm，倾斜角度-5°—60°，
旋转范围0°—360° ●样品室内部尺寸：直径340 mm，高度260 mm
主要应用材料显微结构成像和成分分析，可应用在半导体、新能源、材料、汽车、地矿、生物医学等诸多领域
代表性应用成果新能源、金属、陶瓷、生物、半导体、地质等领域的高分辨微观形貌观察和微区成分分析
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