主要技术与性能指标

● 电子枪类型：肖特基场发射电子枪   ● 放大倍率：66—1 000 000

● 分辨率：1.3 nm@3 kV，SE；1.9 nm@ kV，SE；1.5 nm@3 kV，BSE；2.0 nm@1 kV，BSE；0.9nm@30kV，STEM

● 加速电压：100 V—6 kV（减速模式）；6—30 kV（非减速模式）

● 样品台：步进电机驱动 3 轴样品台（可选配压电驱动样品台）   ● 最短驻点时间：10 ns/pixel

主要应用

半导体工业、生命科学、材料科学、地质科学

代表性应用成果

航空高温合金样品，要求观察蠕变孔洞和碳化物，并由算法自动识别特征分布、统计含量；无人值守连续拍摄 近 7 h，共计拍摄 2 500 张图，成功拼接成近 9 mm² 的大图；鼠脑切片样品，用低角度 BSE 探测器，配合样品 台减速技术，获得出色的衬度和分辨率，在 320 ns 驻点时间可获得近 SNR=80 dB 的信噪比，囊泡、细胞器内 部结构可识别