表1(Table 1)
引用本文
聚焦离子束电子束双束显微镜: DB500. 中国科学院院刊, 2024, 39(Z1): 37-37 
Focus Ion Beam Scanning Electron Microscope. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2024, 39(Z1): 37-37
聚焦离子束电子束双束显微镜: DB500
Focus Ion Beam Scanning Electron Microscope
●离子源：液态镓离子源 ●分辨率：3 nm@30 kV ●探针电流：1 pA—65 nA
●加速电压：500 V—30 kV ●电子枪：肖特基场发射电子枪 ●分辨率：0.9 nm@15 kV
●加速电压范围：20 V—30 kV ●束流大小：1 pA—20 nA ●放大倍数范围：1—2 500 000
主要应用锂电材料、纤维材料、电子元器件、建筑材料、环保材料、生物医疗、金属和冶金等领域
代表性应用成果半导体电路失效分析、材料缺陷分析、微纳加工、透射制样
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