主要技术与性能指标

●激光波长：157 nm、193 nm、248 nm、351 nm   ●激光脉冲能量：10—900 mJ

●脉冲宽度：10—30 ns   ●能量稳定性：< 2%

主要应用

光纤刻写、精细加工、激光打标、激光退火、激光剥离、薄膜制备、材料表面处理

代表性应用成果

国家重大科技专项――“极大规模集成电路及制造工艺光刻机设备”“高端平板显示制造准分子激光退火设备”“企业委托开发系列中小功率准分子激光器”