表1(Table 1)
引用本文
激光干涉仪：IFM600-WT(S). 中国科学院院刊, 2024, 39(Z1): 66-66 
Laser Interferometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2024, 39(Z1): 66-66
激光干涉仪：IFM600-WT(S)
Laser Interferometer
●测量口径：Φ600 mm（可定制到Φ800 mm） ●标准参考镜面形精度（PV）：优于0.1λ
●重复性RMS：优于0.6 nm ●系统传递函数（ITF）：>0.7@0.4 cycles/mm
●拼接测量口径：1 400 mm×420 mm ●拼接测量精度（PV）：优于0.1λ
主要应用强激光装置、天文光学、空间光学等领域大口径光学元件波面误差检测及光学材料光学非均匀性检测
代表性应用成果米级光栅基板拼接测量
米级光栅基板反射面形误差及米级光栅衍射波前测量结果
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