主要技术与性能指标

●滚转角测量分辨率：≥0.08 μrad  ●精度：示值的±0.2%  ●测量范围：±2 500 μrad

主要应用

可解决精密运动导轨的滚转角误差难以高精度、高速、实时测量的难题，可应用于科学仪器等领域相关运动精度测量与误差实时补偿

代表性应用成果

中国科学院物理研究所、中国科学院高能物理研究所等单位的导轨运动副或精密位移台等共性关键直线运动部件或设备的滚转角误差测量与评价