表1(Table 1)
引用本文
跨尺度纳米轮廓仪：AFX-1000-3D. 中国科学院院刊, 2024, 39(Z1): 71-71 
Hybrid Nano Profiler. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2024, 39(Z1): 71-71
跨尺度纳米轮廓仪：AFX-1000-3D
Hybrid Nano Profiler
●平台运动范围：300 mm×300 mm×25 mm ●X、Y向分辨力：0.1 nm；Z向分辨力0.03 nm
●横向尺度测量：＜1 nm（3σ） ●纵向尺度和粗糙度测量：0.01 nm（3σ）
●整机噪音（Z）：≤30 pm ●扫描速度：100—1 000 μm/s
●具备高速PID控制系统 ●具有大尺度线扫描（profiling）和局域3D成像功能
主要应用可应用于精密加工元件，包括各种尺寸的光学镜头、镜面及金属加工件的面形；中频和高频粗糙度测量
代表性应用成果成功研发高性能跨尺度纳米轮廓仪，已经应用于高端光学元件制造产线
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