高分辨微区红外光电表征系统:Micrope
High Resolution Micro Infrared Photoelectric Characterization System

主要技术与性能指标

●波长:0.4—2 μm   ●分辨率:0.7 μm(可见),2 μm(短波红外)  ●温度:—190℃—400℃(精度0.1℃)

●物性表征参量(微区):透反射吸收谱、拉曼、荧光、光电流mapping和成像联合表征

主要应用

分析样品种类、均匀性等多种材料性质;分析光电探测器的电学、光电及成像应用特性

代表性应用成果

(a)分辨率分析,验证设备的高空间分辨率可见;(b)宽波段的原位表征验证,具有宽波段应用不失焦特性;(c)快速变温测试应用,可实现快速升降温分析,温度精度0.1℃,最大速率50℃ /min;(d)拉曼mapping结果,直观分析材料的的均匀性及相关物理特性;(e)光电探测器的光电流mapping分析结果,明确光电流微区局域分布,阐明工作机理;(f)2 μm成像结果,实现多目标的准确探测,验证光电探测器的成像应用