表1(Table 1)
引用本文
系列化真空泵. 中国科学院院刊, 2024, 39(Z1): 83-83 
Vacuum Pumps. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2024, 39(Z1): 83-83
系列化真空泵
Vacuum Pumps
系列罗茨干式真空泵 ●抽速：800—6 000 m3/h ●极限压力：0.2 Pa
系列涡旋干式真空泵 ●抽速：2—16 L/s ●极限压力：＜1 Pa
主要应用集成电路、大科学工程等领域
代表性应用成果●系列罗茨干式真空泵：集成电路、太阳能电池、LED、生物医药、冶金等
●系列涡旋干式真空泵：大科学工程、生物制药、食品安全、手机屏贴合等
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