http://dx.doi.org/10.16418/j.issn.1000-3045.2024Z104081
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系列化磁悬浮分子泵：CXF-200/1401、CXF-250/2301、CXF-320/3001、CXF-200/1402、CXF-250/2302、CXF-320/3002、CXF-100/301
Magnetic Levitation Molecular Pumps
中国科学院院刊, 2024, 39(Z1): 84-84
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2024, 39(Z1): 84-84

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系列化磁悬浮分子泵：CXF-200/1401、CXF-250/2301、CXF-320/3001、CXF-200/1402、CXF-250/2302、CXF-320/3002、CXF-100/301. 中国科学院院刊, 2024, 39(Z1): 84-84
Magnetic Levitation Molecular Pumps. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2024, 39(Z1): 84-84
系列化磁悬浮分子泵：CXF-200/1401、CXF-250/2301、CXF-320/3001、CXF-200/1402、CXF-250/2302、CXF-320/3002、CXF-100/301
Magnetic Levitation Molecular Pumps

主要技术与性能指标

CXF-200/1401  CXF-250/2301  CXF-320/3001

●N2抽速：1 280 L/s  ● N2抽速：2 150 L/s   ●N2抽速：3 000 L/s

●极限真空：2×10−7 Pa (KF)  ●极限真空：2×10−7 Pa (CF)   ●极限真空：5×10−7 Pa (CF)

●额定转速：33 000 r/min  ●额定转速：30 000 r/min  ●额定转速：24 000 r/min

●N2压缩比：>108，重量51 kg  ● N2压缩比：>108，重量60 kg  ●N2压缩比：>108，重量：76 kg

主要应用

基础科学研究、高端装备制造、汽车工业、新能源、新材料、太阳能、分析仪器、电子与半导体、节能环保等领域；同时也为客户提供众多定制化的配套解决方案

代表性应用成果

ITO镀膜系统设备、工业镀膜系统设备、芯片制造设备、新材料试验、飞机控制设备