主要技术与性能指标

●延时范围：0—1 000 μs  ●通道数：3（根据需求可增至50个通道）

●分辨率：5 ns（根据需求可降低至1 ns）  ●上升沿与下降沿：~1.3 ns

●抖动：＜50 ps（任意输出间），＜±2.5 ns（任意输出相对外部输入触发，根据需求可降低至±0.5 ns）

●触发方式：外触发/ 内触发  ●控制方式：触屏/ 上位机

主要应用

信号延时、激光时序控制、光电系统、测试与测量系统、高精度脉冲应用等

代表性应用成果

DUV（深紫外）光刻光源系统中MOPA结构双腔准分子激光器的高精度同步触发控制；EUV（极紫外光）光刻光源系统中液滴、预激光脉冲、主激光脉冲间高精度延时和时序控制