表1(Table 1)
引用本文
离子束抛光系统: CS2600. 中国科学院院刊, 2025, 40(Z1): 20-20 
Ion Beam Figuring System. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2025, 40(Z1): 20-20
离子束抛光系统: CS2600
Ion Beam Figuring System
●可加工口径最大：Φ 1.5 m
●面形精度：PV值最高可达到λ / 20，RMS值最高可达到λ / 250（λ = 632.8 nm）
主要应用各种光学玻璃（包括K9、石英和微晶等），碳化硅镜面
代表性应用成果完成南京理工大学4块直径500 mm光学平晶离子束抛光加工任务，镜面PV值达到λ / 20，RMS值达到λ / 250。4块光学平晶用于南京理工大学2台国产450 mm平面干涉仪设备，为南京理工大学出具应用证明
