场发射扫描电子显微镜: YF-1801
Field Emission Scanning Electron Microscope

主要技术与性能指标

●分辨率:1.0 nm@15 kV,1.0 nm@15 kV   ●加速电压:0.02—30 kV  ●放大倍率:1—2 000 000

●电子枪类型:高亮度肖特基场发射电子枪  ●物镜类型:集成静电透镜和磁透镜的复合透镜

●电子束流:1 pA—20 nA  ●图像分辨率:256× 256—16 k× 16 k

主要应用

适用于各类材料的高分辨成像;多种探测器系统,能高效收集从样品中激发出的的多种电子信号进行成像,可最大程度揭示样品的微观形貌和结构信息

代表性应用成果

新能源、金属、陶瓷、生物、半导体、地质等领域的高分辨微观形貌观察和微区成分分析

主要用户单位 南京晨光集团有限公司、江苏华盛联赢新材料有限公司、山西大学等
研制单位 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
联系方式 尉老师  0512-69588380  weid@sibet.ac.cn