表1(Table 1)
引用本文
高速扫描电子显微镜: HEM6000. 中国科学院院刊, 2025, 40(Z1): 35-35 
High Speed Scanning Electron Microscope. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2025, 40(Z1): 35-35
高速扫描电子显微镜: HEM6000
High Speed Scanning Electron Microscope
●电子枪类型：肖特基场发射电子枪 ●放大倍率：66—1 000 000
●分辨率：1.3 nm@3 kV，SE；1.9 nm@ kV，SE；1.5 nm@3 kV，BSE；2.0 nm@1 kV，BSE；0.9 nm@30 kV，STEM
●加速电压：100 V—6 kV（减速模式）；6 kV—30 kV（非减速模式）
●样品台：步进电机驱动3轴样品台（可选配压电驱动样品台） ●最短驻点时间：10 ns/pixel
主要应用半导体工业、生命科学、材料科学、地质科学
代表性应用成果航空高温合金样品，要求观察蠕变孔洞和碳化物，并由算法自动识别特征分布、统计含量；无人值守连续拍摄近7 h，共计拍摄2 500张图，成功拼接成近9 mm2的大图；鼠脑切片样品，用低角度BSE探测器，配合样品台减速技术，获得出色的衬度和分辨率，在320 ns驻点时间可获得近SNR=80 dB的信噪比，囊泡、细胞器内部结构可识别