微悬臂梁气敏测试系统: LoC-GDS 4000
Gas Sensing System on a Cantilever

主要技术与性能指标

●材料负载量:pg—ng  ●质量变化分辨率:0.5 pg  ●测量通道数:2个

●额定功率:10 W  ●仪器尺寸:25 cm× 35 cm× 13 cm

主要应用

可实现ppb甚至ppt量级气体的痕量检测,用于研究气敏材料和气敏传感器

代表性应用成果

苏州大学应用本系统进行COFs材料气敏传感的机理研究等

主要用户单位 上海交通大学、上海大学、厦门大学、郑州轻工业大学、大连理工大学、上海海事大学、苏州大学
研制单位 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
联系方式 于老师  13816941556  yht@mail.sim.ac.cn