表1(Table 1)
引用本文
系列深紫外准分子激光器: ExciMAS-PLD20、PLD100、B200. 中国科学院院刊, 2025, 40(Z1): 65-65 
Deep Ultraviolet Excimer Laser. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2025, 40(Z1): 65-65
系列深紫外准分子激光器: ExciMAS-PLD20、PLD100、B200
Deep Ultraviolet Excimer Laser
● 输出激光波长：193 nm、248 nm、308 nm、351 nm ● 最大激光脉冲能量：800 mJ @248 nm
● 激光脉冲宽度：~25 ns ● 脉冲能量稳定性：<1%
主要应用半导体光刻、低温多晶硅退火、脉冲薄膜沉积、光纤光栅刻蚀、紫外精细打标
代表性应用成果半导体集成电路光刻设备（国家重大科技专项“4 kHz 脉冲泵浦电源样机”）、高端平板显示制造的准分子激光退火设备、首套基于准分子激光剥蚀的质谱和光谱联用的元素分析仪，用于地质样品的双通道快速分析（中国科学院仪器专项）、研制首台飞秒准分子激光剥蚀系统（国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目）、准分子激光医疗设备、科研用系列准分子激光器
| 主要用户单位 | 中国工程物理研究院、中国科学院空天信息创新研究院、中国科学院广州地球化学研究所、武汉理工大学、深圳大学、绵阳煜茗科技有限公司 |
| 研制单位 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 联系方式 | 梁老师 0551-65591020 liangxu@aiofm.ac.cn |