表1(Table 1)
引用本文
低温飞秒激光器: AIR-Dep5-TDM-12. 中国科学院院刊, 2025, 40(Z1): 66-66 
Cryogenically Femtosecond Laser. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2025, 40(Z1): 66-66
低温飞秒激光器: AIR-Dep5-TDM-12
Cryogenically Femtosecond Laser
● 激光器中心波长：1 034 nm ● 重复频率：1 kHz ● 单脉冲能量：10 mJ
● 脉冲宽度：300 fs ● 光束质量：M2<1.2 ● 低温制冷：~100 K
主要应用该飞秒激光器单脉冲能量较高，峰值功率达到 0.03 TW，同时平均功率达到 10 W，适合用于如高次谐波产生相干 EUV/ 软 X 射线，太赫兹辐射源产生等重要应用。其中，应用高次谐波产生已经可以做到 μW 级极紫外激光输出，课题组目前在国家重点研发项目的支持下将其应用于芯片检测领域