主要技术与性能指标

● CT 成像最高名义分辨率：≤300 nm  ● CT 成像空间分辨率：≤500 nm  ● 成像速度：100 s/ 帧

● 加速电压：0.3 V—30 kV  ● 最大电子束束流：200 nA  ● 能谱分析元素种类：C₆—U₉₂

● 可更换 4 种靶材（包括钨、银、铝、镁等），实现样品的彩色成像，同时具有电镜扫描成像和能谱分析功能

● 能谱分析能量分辨率：135 eV@Mn-Kα  ● 电子束扫描成像分辨率：≤10 nm

主要应用

主要应用于材料科学、生命科学等领域毫米尺寸样品的亚微米三维结构无损检测和分析、多孔多相介质材料的三维无损显微检测与表面显微形貌和成份的同步测试分析

代表性应用成果