主要技术与性能指标

● 基于四波横向剪切干涉技术的大口径光学镜面高分辨率动态检测设备波前测量精度（RMS）优于 1/50 波长

● 光谱范围：400—850 nm  ● 动态范围优于：600 μm

● 干涉图像像元分辨率：2 000× 2 000  ● 采样帧频优于 350 帧 /s

主要应用

该产品可以用于镜头与镜头组检测、光学系统准直、表面面型检测分析、生物显微成像、气动光学测量、激光光束质量测量、自适应光学、激光系统准直、气体与等离子体密度测量等领域

代表性应用成果

● 大口径光学镜面高分辨率检测，基于四波横向剪切干涉技术解决了现有大口径镜面光学检测手段受限于检测仪 器空间分辨率和时间分辨率不足的问题，波前测量精度（RMS）优于 1/50 波长（λ=633 nm），采样帧频优于 350 帧 /s

● 生物显微成像，基于四波横向剪切干涉技术研制了一套活体细胞显微成像系统，测量光谱范围 400—800 nm，测量帧频优于 50 Hz，波前测量精度（RMS）优于 1/70 波长（λ=633 nm）