大口径体缺陷测量仪: BDM-L-01
Body-defect Detection Instrument for Large Optical Element
● 有效测量口径:≤900 mm× 500 mm ● 可分辨的缺陷尺寸:30 μm ● 系统纵向定位精度:0.5 mm
● 检测区域:全口径获取缺陷特征图像 ● 待测元件厚度范围:≤100 mm ● 系统承重:≥100 kg
主要应用主要用于光学材料内部气泡与包裹体等缺陷的定位与定量检测,可实现气泡与包裹体的高效数字化检测与分析能力。可应用于石英玻璃、K9 玻璃及晶体等材料体内缺陷的测量
代表性应用成果论文: 倪开灶, 刘世杰, 吴周令, 等. 激光聚焦线扫描法测量 KDP 晶体坯片的体缺陷. 光学精密工程, 2016, 24(12): 3020-3026.
专利: 邵建达,刘世杰,倪开灶等,大口径元件体内缺陷快速检测装置和方法,L201810605232.8,2021-09-07