大口径体缺陷测量仪: BDM-L-01
Body-defect Detection Instrument for Large Optical Element

主要技术与性能指标

● 有效测量口径:≤900 mm× 500 mm  ● 可分辨的缺陷尺寸:30 μm  ● 系统纵向定位精度:0.5 mm

● 检测区域:全口径获取缺陷特征图像  ● 待测元件厚度范围:≤100 mm  ● 系统承重:≥100 kg

主要应用

主要用于光学材料内部气泡与包裹体等缺陷的定位与定量检测,可实现气泡与包裹体的高效数字化检测与分析能力。可应用于石英玻璃、K9 玻璃及晶体等材料体内缺陷的测量

代表性应用成果

论文: 倪开灶, 刘世杰, 吴周令, 等. 激光聚焦线扫描法测量 KDP 晶体坯片的体缺陷. 光学精密工程, 2016, 24(12): 3020-3026.

专利: 邵建达,刘世杰,倪开灶等,大口径元件体内缺陷快速检测装置和方法,L201810605232.8,2021-09-07

主要用户单位 各大科研院校及光学制造厂
研制单位 中国科学院上海光学精密机械研究所
联系方式 刘老师  021-69972931  shijieliu@siom.ac.cn