表1(Table 1)
引用本文
800 mm口径平面激光干涉仪: NTY. 中国科学院院刊, 2025, 40(Z1): 88-88 
800 mm Caliber Planar Laser Interferometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2025, 40(Z1): 88-88
800 mm口径平面激光干涉仪: NTY
800 mm Caliber Planar Laser Interferometer
● 干涉仪型式：平面 Fizeau 型卧式波长调谐移相干涉仪
● 重复性 (rms) ：1 nm (1 σ) ● 分辨率：2 048 x 2 048
● 灰度分辨率：8 bit ● 相干长度：>6 m
主要应用平面反射镜检测
代表性应用成果检测 ≤ϕ 800 mm 口径的平面镜