中文摘要: 微压力传感器主要用于测量气体或液体的微小压力 ,通常最小压力测量范围为 1ｋＰａ—1 0ｋＰａ ,在石化、冶金、电力、水文等行业中广泛用作压力、液位测量。此外 ,随着机电一体化及信息技术的发展 ,在空气动力装置、医疗、家电等领域也开始大量应用 ,其需求量逐年增长。目前国内外常用的微压力传感器主要有两种 ,一是扩散硅 ,二是组合式。量程一般在1 0ｋＰａ— 5 0ｋＰａ ,不耐腐蚀 ,成本高。要进一步提高灵敏度 ,向微压力品种发展 ,这两种结构的微压力传感器都存在相当大的难度。为研究开发新产品 ,在“九五”传感器国家重点科技攻关计划中 ,列有厚膜微压传感器研究项目 ,并由中国科学院合肥智能机械研