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中文摘要: 电子级多晶硅是半导体、电子、信息产业最基础的材料,在信息技术领域(通信设备、电脑网络等)、现代工业领域(交通运输、能源工业等)、日常生活领域(移动通讯、家用电器等)、军事领域、航空航天等领域有广泛的应用。
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文章编号： 中图分类号： 文献标志码：
基金项目:
| 作者 | 单位 |
| 中科院上海光学精密机械所 |
| Author Name | Affiliation |
引用文本：
中科院上海光学精密机械所.高效氢气纯化器提升多晶硅产业核心竞争力[J].中国科学院院刊,2016,31(Z1):68.
.[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2016,31(Z1):68.
中科院上海光学精密机械所.高效氢气纯化器提升多晶硅产业核心竞争力[J].中国科学院院刊,2016,31(Z1):68.
.[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2016,31(Z1):68.
