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.高精度MEMS压力传感器[J].中国科学院院刊,2025,40(Z1):79.
.High Precision MEMS Pressure Sensor[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2025,40(Z1):79.
.高精度MEMS压力传感器[J].中国科学院院刊,2025,40(Z1):79.
.High Precision MEMS Pressure Sensor[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2025,40(Z1):79.
