李志坚.九十年代的微电子技术[J].中国科学院院刊,1991,(1):23-29.

李志坚
清华大学

         微电子技术;ASIC;微电子产业;微电子系统;微电子芯片;九十年代;集成度;90年代;深亚微米;门延时

        微电子技术在90年代将以更高的速度发展,微细加工技术将进入深亚微米,并由此使芯片集成度高达109;如今的专用IC(ASIC)将向集成系统(IS)发展;相应的设计方法学和测试技术的研究以及设计工具的开发将有新的突破; 高速微电子系统的封装和组装将脱离当前模式向模块化或园片集成化发展;基于神经网络、模糊逻辑等概念的系统芯片有可能从根本上改变当前智能处理系统的面目等等。这些都将伴随着设备的更新和原材料的相应进步。与此同时,微电子技术向各个科技领域和人类生活形态的渗透将更为显著。它还将促进一系列新的科技领域的出现。文中还对我国微电子技术的发展提出了具体建议。