.集成微光机电系统研究[J].中国科学院院刊,2001,(6):446-447,479.
中文关键词
微光机电系统;传感器;基础研究
中文摘要
1 首席科学家王跃林 中国科学院上海冶金研究所研究员 ,博士生导师。 1989年获清华大学博士学位。 1985年— 1998年在浙江大学信电系工作 ,1998年至今在上海冶金研究所工作。长期从事微机械和传感器研究 ,对硅 硅键合技术在传感器方面的应用、压力传感器、加速度传感器、微机械谐振器和光通信用ＭＥＭＳ器件等方面成绩显著 ,在ＩＥＥＥＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓ、Ｐｒｏ ｃｅｅｄｉｎｇｓｏｆＴｈｅＩＥＥＥ和ＳｅｎｓｏｒｓａｎｄＡｃｔｕａｔｏｒｓ等刊物和会议上发表论文百余篇 ,申请和授权专利 12项。2 科学内涵和意义尺寸更小、功能更强、价格更低的信息系统是
