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.磁控溅射卷绕镀膜设备[J].中国科学院院刊,2019,34(Z1):63.
.Roll-To-Roll Magnetron Sputtering Coating System[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2019,34(Z1):63.
.磁控溅射卷绕镀膜设备[J].中国科学院院刊,2019,34(Z1):63.
.Roll-To-Roll Magnetron Sputtering Coating System[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2019,34(Z1):63.
