本文已被：浏览 1563次 下载 1945次
中文摘要:
中文关键词:
Abstract:
keywords:
文章编号： 中图分类号： 文献标志码：
基金项目:
引用文本：
.等离子体化学气相沉积镀膜设备[J].中国科学院院刊,2019,34(Z1):82.
.Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Coating Equipment[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2019,34(Z1):82.
.等离子体化学气相沉积镀膜设备[J].中国科学院院刊,2019,34(Z1):82.
.Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Coating Equipment[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2019,34(Z1):82.
