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.磁控溅射卷绕镀膜设备[J].中国科学院院刊,2020,35(Z1):82.
.Roll-To-Roll Magnetron Sputtering Vacuum Coating System[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2020,35(Z1):82.
.磁控溅射卷绕镀膜设备[J].中国科学院院刊,2020,35(Z1):82.
.Roll-To-Roll Magnetron Sputtering Vacuum Coating System[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2020,35(Z1):82.
