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.高能脉冲磁控溅射镀膜机[J].中国科学院院刊,2020,35(Z1):83.
.High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) Coating Machine[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2020,35(Z1):83.
.高能脉冲磁控溅射镀膜机[J].中国科学院院刊,2020,35(Z1):83.
.High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) Coating Machine[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2020,35(Z1):83.
