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.热丝法化学气相沉积设备[J].中国科学院院刊,2021,36(Z1):69.
.Hot Filament Chemical Vapour Deposition(HFCVD)[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2021,36(Z1):69.
.热丝法化学气相沉积设备[J].中国科学院院刊,2021,36(Z1):69.
.Hot Filament Chemical Vapour Deposition(HFCVD)[J].Bulletin of Chinese Academy of Sciences,2021,36(Z1):69.